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中國信息化
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芯片制造關鍵設備再突破！離子注入機實現全譜系產品國產化
來源： 新華社 作者： 發布時間： 2021-03-17

3月17日，中國電子科技集團有限公司對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片制造產業鏈補上重要一環，為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。（記者溫競華）

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